掃描電鏡（SEM）的樣品不必必須導(dǎo)電，但大多數(shù)情況下，導(dǎo)電樣品更容易獲得清晰的圖像，因為它們不會產(chǎn)生電荷積累。然而，對于 非導(dǎo)電樣品，需要采取一些措施來防止圖像畸變。以下是導(dǎo)電和非導(dǎo)電樣品在掃描電鏡中的處理方式：

1. 導(dǎo)電樣品

優(yōu)點(diǎn)：導(dǎo)電樣品（如金屬、導(dǎo)電陶瓷、某些半導(dǎo)體等）在掃描電鏡中無需特別處理。電子束與樣品的相互作用不會導(dǎo)致電荷積累，因此圖像更清晰，信號強(qiáng)度也更穩(wěn)定。

圖像質(zhì)量：導(dǎo)電樣品不會出現(xiàn)由于電荷積累而導(dǎo)致的圖像畸變，因此能夠獲得更高質(zhì)量的圖像，尤其是在高電壓和高分辨率的情況下。

2. 非導(dǎo)電樣品

電荷積累問題：非導(dǎo)電樣品（如塑料、木材、玻璃、某些生物樣品等）在掃描過程中會積累電子，這會導(dǎo)致圖像的畸變，表現(xiàn)為圖像模糊或出現(xiàn)亮斑、陰影等問題。為了避免這種情況，需要對這些樣品進(jìn)行處理。

涂層（鍍金/鍍碳）：為了避免電荷積累，非導(dǎo)電樣品通常會涂上一層薄薄的導(dǎo)電金屬層，如 金（Au）、鉑（Pt） 或 碳（C）。這種涂層提供導(dǎo)電路徑，幫助電子流通過樣品表面，從而避免電荷積累。涂層的厚度一般為幾納米，通常不會影響成像，但也可以根據(jù)具體需要調(diào)整涂層的材料和厚度。

低加速電壓：對于非導(dǎo)電樣品，可以選擇較低的加速電壓（如 1-5 kV）進(jìn)行掃描，以減少電荷積累的風(fēng)險。低電壓會減小電子的穿透深度，從而限制電子對樣品的影響。

使用冷卻樣品臺：某些情況下，使用冷卻樣品臺（低溫掃描電鏡）也能幫助減少電荷積累，尤其是在一些熱敏感或易損材料的成像中。

3. 特殊處理

導(dǎo)電涂層材料：常用的涂層材料包括金、鉑、碳等。金和鉑涂層一般用于增強(qiáng)圖像對比度和提供高質(zhì)量的表面細(xì)節(jié)。碳涂層適用于需要保持樣品原始性質(zhì)的情況，如某些生物樣品和有機(jī)材料。

樣品導(dǎo)電性調(diào)節(jié)：有些非導(dǎo)電樣品可以通過改變其表面性質(zhì)（如通過氧化、摻雜等方式）使其部分導(dǎo)電，從而減少電荷積累的影響。

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