掃描電鏡（SEM）的空間分辨率通常通過(guò)以下幾種方法進(jìn)行測(cè)定：

1. 使用標(biāo)準(zhǔn)分辨率測(cè)試樣品

(1) 金顆粒標(biāo)準(zhǔn)樣品（Gold on Carbon）

常用的金顆粒（Au on C）樣品，由納米級(jí)金顆粒隨機(jī)分布在碳基底上，具有明確的邊界，可用于分辨率測(cè)試。 

方法：調(diào)整電子束聚焦，觀察最小可分辨的金顆粒尺寸，并記錄相應(yīng)的加速電壓、探測(cè)模式等參數(shù)。 

(2) 線對(duì)分辨率樣品（Resolution Test Chart）

USAF 1951測(cè)試圖或SiO?線柵，包含不同間距的圖案，用于測(cè)定SEM的分辨能力。 

方法：調(diào)整焦距和束流，找到可以清晰分辨的最小線對(duì)，并計(jì)算相應(yīng)的空間分辨率。 

2. 觀察邊界清晰度

選取具有銳利邊界的樣品（如金屬納米顆粒、硅刻蝕結(jié)構(gòu)）。 

在高倍率下，觀察邊界的銳度，利用**邊界擴(kuò)展測(cè)量（Edge Spread Function, ESF）**計(jì)算分辨率。 

3. 計(jì)算半峰全寬（FWHM）

對(duì)圖像中的細(xì)小結(jié)構(gòu)（如納米顆粒、臺(tái)階）做灰度分析，得到邊緣強(qiáng)度變化曲線。 

計(jì)算曲線的半峰全寬（Full Width at Half Maximum, FWHM），可近似反映SEM的分辨率。 

4. 通過(guò)點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)（PSF）測(cè)定

電子束的擴(kuò)散會(huì)影響分辨率，可以通過(guò)測(cè)量點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)（Point Spread Function, PSF）來(lái)評(píng)估。 

方法：使用孤立納米顆粒，測(cè)量電子束作用下的信號(hào)擴(kuò)散范圍，分析其影響區(qū)域。 

5. 影響因素

電子束能量（加速電壓）：高電壓（>15 kV）適用于深部成像，但易導(dǎo)致電子散射，降低分辨率；低電壓（<5 kV）適合表面高分辨成像。 

工作距離（WD）：較短工作距離可提高分辨率，但可能降低景深。 

物鏡孔徑（Aperture）：小孔徑可減少散焦，提高分辨率。 

探測(cè)器模式：二次電子（SE）探測(cè)適合表面高分辨成像，背散射電子（BSE）探測(cè)適用于成分對(duì)比。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡的空間分辨率如何測(cè)定的介紹。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢