掃描電鏡（SEM）工作時(shí)對(duì)真空度要求較高，若真空度不夠（即腔室壓力偏高），會(huì)對(duì)成像質(zhì)量和設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生一系列不良影響，主要包括以下幾點(diǎn)：

1. 電子束散射增強(qiáng)，分辨率下降

真空不良時(shí)腔體內(nèi)殘余氣體分子密度升高，電子束在傳播過(guò)程中更容易與氣體分子碰撞，導(dǎo)致束斑發(fā)散、電子軌跡偏移，影響聚焦，圖像模糊、分辨率降低。

2. 圖像穩(wěn)定性差

氣體分子被電子束電離后產(chǎn)生的正負(fù)離子會(huì)在樣品或系統(tǒng)中積聚電荷，可能導(dǎo)致圖像漂移、閃爍或扭曲。

3. 信噪比降低

真空差時(shí)，二次電子和背散射電子在傳播過(guò)程中被氣體散射或吸收，導(dǎo)致信號(hào)減弱、噪聲增加，圖像對(duì)比度降低。

4. 樣品充電效應(yīng)加劇

特別是對(duì)非導(dǎo)電樣品而言，電荷在表面難以中和，若真空不好，氣體分子在電子轟擊下產(chǎn)生更多游離離子，會(huì)加劇充電效應(yīng)，導(dǎo)致圖像失真、亮斑或漂移。

5. 電子源壽命縮短

熱發(fā)射或場(chǎng)發(fā)射槍在真空不良的條件下工作，容易受到氣體分子的污染或轟擊，導(dǎo)致陰極污染、燒蝕，加快老化，影響發(fā)射效率和穩(wěn)定性。

6. EDS等能譜分析失真

殘余氣體可能在電子束作用下引入背景信號(hào)或引起光譜漂移，影響定量分析準(zhǔn)確性。

7. 可能引起系統(tǒng)報(bào)警或自動(dòng)保護(hù)

真空度未達(dá)標(biāo)時(shí)，SEM系統(tǒng)往往會(huì)限制高壓、關(guān)斷電子槍或中止掃描，以保護(hù)關(guān)鍵元件。