掃描電鏡（SEM）拍攝圖像出現(xiàn)拖影（smearing、streaking 或 shadowing），通常表現(xiàn)為圖像邊緣模糊、重復(fù)輪廓或拉長的影子。這種現(xiàn)象會(huì)影響分辨率和圖像質(zhì)量，可能由多種因素引起。以下是常見原因及對(duì)應(yīng)解決方法：

一、樣品相關(guān)因素

樣品未固定牢固

樣品在掃描過程中發(fā)生微小移動(dòng)，會(huì)造成拖影。

解決方法：使用導(dǎo)電膠、碳膠帶等將樣品牢牢固定。確保樣品臺(tái)穩(wěn)固，避免震動(dòng)。

樣品表面帶電（charging）

非導(dǎo)電樣品在電子束照射下積聚電荷，會(huì)導(dǎo)致圖像拖影或亮度漂移。

解決方法：

給樣品噴金、噴碳、鍍金屬等導(dǎo)電處理。

降低電子束電流或加快掃描速度。

使用低電壓成像（如 1~5 kV）或開啟 SEM 的“低真空”模式（若設(shè)備支持）。

二、設(shè)備設(shè)置因素

掃描速度太慢

長時(shí)間掃描若樣品略有漂移，會(huì)拉出明顯拖影。

解決方法：適當(dāng)提高掃描速度，或在快掃圖像定位后，再用中速或慢速采集高質(zhì)量圖像。

電子束聚焦不佳或掃描系統(tǒng)不穩(wěn)定

聚焦失準(zhǔn)、電子束漂移會(huì)導(dǎo)致圖像模糊或拖尾。

解決方法：

使用 Z 方向（工作距離）微調(diào)，再配合 Stigmator 校正。

確保加速電壓穩(wěn)定，避免設(shè)備在啟動(dòng)階段采集圖像。

三、環(huán)境干擾

機(jī)械震動(dòng)

SEM 對(duì)震動(dòng)非常敏感，輕微的地面或平臺(tái)晃動(dòng)都可能造成圖像模糊或拖影。

解決方法：

檢查是否有外部震源（如空調(diào)、腳步、機(jī)械）。

使用防震平臺(tái)或調(diào)整 SEM 安裝位置。

電磁干擾

強(qiáng)電磁場可能干擾掃描系統(tǒng)，造成圖像異常。

解決方法：

檢查附近是否有電機(jī)、電源、大型電器或無線發(fā)射設(shè)備。

使用電磁屏蔽或改變?cè)O(shè)備擺放位置。