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澤攸科技等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)產(chǎn)品(PECVD)介紹

日期:2023-04-19

澤攸科技完全自主研制等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)及二維材料轉(zhuǎn)移臺。

產(chǎn)品介紹

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)及二維材料轉(zhuǎn)移臺

多功能電感耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD)是用來制備高純、高性能固體薄膜的主要技術(shù),主要借助微波或射頻 的方法將目標(biāo)氣體進(jìn)行電離,促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)在較低的溫度下進(jìn)行,從而在基片上沉積出所期望的薄膜。 

目前項目團(tuán)隊自主研發(fā)的CVD設(shè)備可在多種襯底上(如金屬、氧化物、半導(dǎo)體表面)直接生長以石墨烯為代表的各類新型二維 材料,用于新材料、新器件的研發(fā)。工藝簡單廉價,且具有傳統(tǒng)半導(dǎo)體生長工藝的兼容性。

化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

場景案例

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場景案例

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轉(zhuǎn)移系統(tǒng)

轉(zhuǎn)移臺

符合CE認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)的二維材料轉(zhuǎn)移系統(tǒng),可用于機(jī)械解理 的各種二維材料的轉(zhuǎn)移及二維材料范德華異質(zhì)結(jié)的堆疊,尤其適用于二維材料的準(zhǔn)確轉(zhuǎn)角調(diào)控。

轉(zhuǎn)移臺

樣品可以多方向多角度的相對移動,大氣環(huán)境下也可保 障二維異質(zhì)結(jié)的界面干凈無氣泡;精巧的設(shè)計,全電動 控制,可提供真空環(huán)境,也可以輕松置于手套箱中操 作,適用于穩(wěn)定性較差的二維磁性材料等研究。

轉(zhuǎn)移臺

技術(shù)參數(shù)

案例

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其他配件

高精度流量器

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作者:澤攸科技


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