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PicoFemto透射電鏡原位STM-TEM電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)

日期:2019-09-27

透射電鏡原位STM-TEM電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)

         透射電子顯微鏡原位STM-TEM測(cè)量系統(tǒng)是在標(biāo)準(zhǔn)外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)加裝掃描探針控制單元,通過(guò)探針對(duì)單個(gè)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行操縱和電學(xué)測(cè)量,并可在電學(xué)測(cè)量的同時(shí),動(dòng)態(tài)、高分辨地對(duì)樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征,大大地?cái)U(kuò)展了透射電子顯微鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。


性能指標(biāo)

透射電鏡指標(biāo):

● 兼容指定電鏡型號(hào)及極靴;

● 可選雙傾版本,雙傾電學(xué)測(cè)量樣品桿Y軸傾角±25°(同時(shí)受限于極靴間距);

● 保證透射電鏡原有分辨率。

 

電學(xué)測(cè)量指標(biāo):

● 包含一個(gè)電流電壓測(cè)試單元;

● 電流測(cè)量范圍:1 nA-30 mA,9個(gè)量程;

● 電流分辨率:優(yōu)于100 fA;

● 電壓輸出范圍:普通模式±10 V,高壓模式±150 V;

● 自動(dòng)電流-電壓(I-V)測(cè)量、電流-時(shí)間(I-t)測(cè)量,自動(dòng)保存。

 

掃描探針操縱指標(biāo):

● 粗調(diào)范圍:XY方向2.5 mm,Z方向1.5 mm;

● 細(xì)調(diào)范圍:XY方向18 um,Z方向1.5 um;

● 細(xì)調(diào)分辨率:XY方向0.4 nm,Z方向0.04 nm。

 

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作者:小攸


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