PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)
日期:2019-09-27
該產(chǎn)品是一種革命性的原位透射電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),使研究者可以在透射電子顯微鏡中構(gòu)建一個(gè)可控的多場(chǎng)環(huán)境(包括力、熱、光、電等),從而對(duì)材料或者器件等樣品實(shí)現(xiàn)多重激勵(lì)下的原位表征。
性能指標(biāo)
透射電鏡指標(biāo):
● 兼容指定電鏡型號(hào)及極靴;
● 可選雙傾版本,雙傾電學(xué)測(cè)量樣品桿Y軸傾角±25°(同時(shí)受限于極靴間距);
電學(xué)測(cè)量指標(biāo):
● 包含一個(gè)電流電壓測(cè)試單元;
● 電流測(cè)量范圍:1 nA-30 mA,9個(gè)量程;
● 電流分辨率:優(yōu)于100 fA;
● 電壓輸出范圍:普通模式±10 V,高壓模式±150 V;
● 自動(dòng)電流-電壓(I-V)測(cè)量、電流-時(shí)間(I-t)測(cè)量,自動(dòng)保存。
掃描探針操縱指標(biāo):
● 粗調(diào)范圍:XY方向2.5 mm,Z方向1.5 mm;
● 細(xì)調(diào)范圍:XY方向18 um,Z方向1.5 um;
● 細(xì)調(diào)分辨率:XY方向0.4 nm,Z方向0.04 nm。
光纖指標(biāo):
● 多模光纖外徑250 um,保證電鏡系統(tǒng)真空指標(biāo);
● 可選光纖探針、平頭光纖;
● 配備快速SMA接頭、FC接頭;
加熱指標(biāo):
● 溫度范圍:室溫到1000 ℃;
● 溫度準(zhǔn)確度優(yōu)于 5% ;
● 溫度穩(wěn)定性:優(yōu)于±0.1 ℃。
產(chǎn)品特色
可通過簡單更換MEMS芯片種類以及不同STM探針為樣品施加至多四種激勵(lì),實(shí)現(xiàn)多種復(fù)雜的測(cè)試功能,完成以往無法實(shí)現(xiàn)的研究。
(1)高溫拉伸/壓縮(加熱芯片+電學(xué)STM探針);
(2)熱電子發(fā)射/場(chǎng)發(fā)射(加熱芯片+電學(xué)STM探針);
(3)三端器件測(cè)量(電學(xué)芯片+電學(xué)STM探針);
(4)電致發(fā)光現(xiàn)象研究(電學(xué)芯片+光學(xué)STM探針);
(5)光電現(xiàn)象研究(電學(xué)芯片+光學(xué)STM探針)。
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作者:小攸