等離子體修飾系統(tǒng)
等離子體修飾系統(tǒng),利用卓聚自創(chuàng)的三溫區(qū)管式爐,通過氧氣輔助化學(xué)氣相沉積技術(shù),在藍(lán)寶石襯底上外延生長(zhǎng)了大尺寸、高質(zhì)量的單層二硫化鉬薄膜。在生長(zhǎng)過程中引入氧氣,不僅能夠有效的阻止三氧化鉬源中毒,降低形核密度,而且還能減小硫空位密度,從而實(shí)現(xiàn)了大尺寸單晶單層二硫化鉬的生長(zhǎng)。
等離子體修飾系統(tǒng),利用三溫區(qū)管式爐,通過氧氣輔助化學(xué)氣相沉積技術(shù),在藍(lán)寶石襯底上外延生長(zhǎng)了大尺寸、高質(zhì)量的單層二硫化鉬薄膜。在生長(zhǎng)過程中引入氧氣,不僅能夠阻止三氧化鉬源中毒,降低形核密度,而且還能減小硫空位密度,從而實(shí)現(xiàn)了大尺寸單晶單層二硫化鉬的生長(zhǎng)。
利用等離子體修飾系統(tǒng),在自限生長(zhǎng)的前提下,目前已實(shí)現(xiàn)了兩英寸晶圓級(jí)高質(zhì)量單層二硫化鉬的外延生長(zhǎng)(100%覆蓋度,成膜均勻),并通過改進(jìn)轉(zhuǎn)移設(shè)備,實(shí)現(xiàn)了晶圓級(jí)薄膜的零污染且襯底無(wú)損轉(zhuǎn)移。單層二硫化鉬薄膜均勻覆蓋在整個(gè)藍(lán)寶石襯底上,而且沒有縫隙,沒有重疊層。 薄膜由晶粒尺寸為 1 微米,相對(duì)取向?yàn)?60 o的晶粒拼接而成。成型薄膜只包含 60 o晶界。
等離子體修飾系統(tǒng)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、避免固態(tài)源中毒;
2、成膜均勻性好;
3、成膜面積大;
4、快速、生長(zhǎng)速度可控。
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