壓電物鏡NF100LA
采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級物鏡掃描臺,內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導向機構,確保了掃描臺的運動精度。
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采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級物鏡掃描臺,內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導向機構,確保了掃描臺的運動精度。掃描臺內(nèi)置精移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。掃描臺為無磁材質(zhì),使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。聚焦行程可達100微米。分體的螺紋適配器,可適配多種型號的物鏡。
產(chǎn)品特色
1、聚焦行程為100um,分辨率為4nm。
2、內(nèi)置高性能的壓電陶瓷。
3、優(yōu)異的導向精度,適配器使用靈活。
4、開/閉環(huán)可供選擇。
產(chǎn)品參數(shù)
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