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探針臺及低溫系統(tǒng)每一部工程作品都精雕細琢

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室溫自動探針臺 TZ-H-06

室溫自動探針臺,高可靠性探針臺系統(tǒng),主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子, 電子,機電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機電/MEMs,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

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    室溫自動探針臺,高可靠性探針臺系統(tǒng),主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子, 電子,機電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機電/MEMs,生物芯片等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

    旨在預(yù)算與高測量可靠性之間尋求平衡點,該平臺配備高精度位移臺,可實現(xiàn)X、Y、Z、 R等方向自動調(diào)整,各移動軸可實現(xiàn)±0.005mm以下的精度定位,對陣列型測量特征可實現(xiàn)快速準確的測量。經(jīng)濟實用,穩(wěn)定性強,可升級擴展,操作方便是本產(chǎn)品的核心價值,在各大高校、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用廣泛。


    產(chǎn)品特征

    1、標配4個探針臂,可提供4-8個探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm,調(diào)節(jié)精度優(yōu)于5um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜;

    2、顯微鏡模塊:連續(xù)變倍單筒顯微鏡,光學(xué)放大倍率:0.5X~5.0X(使用1X附加物鏡時), 視頻放大倍率約700倍??蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字攝像頭,帶同軸照明和環(huán)形照明,帶機械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦;

    3、樣品座采用電機驅(qū)動,可實現(xiàn)快速于目鏡下尋找樣品,調(diào)節(jié)范圍:100mm*100mm*15mm*±180°。

    室溫自動探針臺產(chǎn)品參數(shù).jpg

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