PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統(tǒng)
日期：2022-05-20
PicoFemto SFP3 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中，使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。該系統(tǒng)由一個三維壓電驅動的樣品臺和一個納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活
多樣，可在三維納米位移臺的驅動下，達到超過5 mm的準確定位，定位分辨率優(yōu)于100 nm，以使待測量區(qū)域準確對準力探針。力探針同樣由壓電驅動，在軸向達到100 um的伸縮長度，位移分辨率優(yōu)于
0.25mm。由力傳感器準確測量所施加的力的載荷，可測拉力和壓力。并有不同的最大量程的力傳感器可選配，達到很好的測量效果。通過搭配電學、
光學、加熱等模塊，該產品還可以實現包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。
PicoFemto SFP3 SEM納米力測量系統(tǒng)基本技術參數表
特征 | 技術指標 |
兼容性 | 兼容賽默飛、日本電子、蔡司、日立、ZEM 等型號掃描電子顯微鏡 |
最大載荷 | ±10 ~±50 mN可選 |
載荷分辨率 | 優(yōu)于10 mN |
加載模式 | 拉伸、壓縮、彎曲、壓痕、劃痕等 |
納米壓痕模式 | 加載-保載-卸載，以及循環(huán)加載模式 |
軟件 | 自動測量載荷-位移曲線，自動保存； |
樣品位移反饋 | 閉環(huán) |
響應時間 | 50ms |
加載位移精度 | 0.25 mm |
XYZ反饋 | 開環(huán) |
XYZ粗調范圍 | 大于5 mm |
XYZ細調范圍 | 2.5 mm |
XYZ細調分辨率 | 0.6 nm |
XYZ位移操作模式 | 手柄操作(可改為軟件）。 |
電流測量量程 | ±1.5 A |
電流測量精度 | ±100 fA |
電壓測量量程 | ±200V |
電壓測量精度 | ±100 nV |
電學測量模式 | 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t） 測量，自動保存。 |
加熱范圍 | 室溫至500 ℃ |
加熱穩(wěn)定性 | 優(yōu)于1 ℃ |
其他 | 可選光學模塊 |
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作者：澤攸科技