掃描電鏡（SEM）通常使用硅片作為樣品支撐基底，因為硅片有以下幾個優(yōu)點：

導(dǎo)電性好：硅片是一種導(dǎo)電性能良好的材料，可以避免由于樣品表面電荷積聚而產(chǎn)生的干擾信號。

高穩(wěn)定性：硅片的物理性質(zhì)穩(wěn)定，尺寸精度高，不易受溫度、濕度等環(huán)境因素的影響，可以保證SEM成像的穩(wěn)定性。

平整度好：硅片表面平整度高，可以避免樣品在成像過程中出現(xiàn)的高低起伏或者其他不規(guī)則形狀的干擾信號。

顯微分辨率高：硅片表面非常光滑，可以提高SEM的顯微分辨率，讓成像效果更加清晰。

除硅片之外，其他材料，如金屬網(wǎng)格、碳膜等，也可以作為SEM的樣品支撐基底。不同的材料適用于不同類型的樣品，選擇適合的樣品支撐基底可以提高SEM成像的效果。

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