掃描電鏡對(duì)支撐基底的要求
日期:2023-03-15
支撐基底是掃描電鏡(SEM)樣品的重要組成部分,對(duì)SEM成像效果具有重要影響。以下是SEM對(duì)支撐基底的要求:
導(dǎo)電性好:SEM使用的支撐基底須具有良好的導(dǎo)電性能,以避免在成像過程中電荷積聚導(dǎo)致的干擾信號(hào)。
機(jī)械穩(wěn)定性高:支撐基底須具有足夠的機(jī)械穩(wěn)定性和剛性,以保證在樣品加工、制備和成像過程中的穩(wěn)定性。
表面平整度高:支撐基底的表面應(yīng)該非常平整,以避免在成像過程中產(chǎn)生的高低起伏或其他形狀不規(guī)則的干擾信號(hào)。
光學(xué)性能好:支撐基底的光學(xué)性能應(yīng)該好,即在SEM成像過程中不會(huì)出現(xiàn)光學(xué)畸變或干擾信號(hào)。
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作者:澤攸科技
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