掃描電鏡加速電壓作用
日期:2023-04-27
掃描電鏡(SEM)使用高能電子束與樣品相互作用,因此加速電壓是掃描電鏡中非常重要的參數(shù)之一。
加速電壓指的是電子束在掃描電鏡中加速的電壓。在SEM中,電子束從電子槍發(fā)射出來后,通過一系列的透鏡和偏轉(zhuǎn)器,被聚焦成一個小點,并在樣品表面掃描。掃描電子束與樣品相互作用,產(chǎn)生二次電子、反射電子、散射電子、X射線等不同的信號,這些信號被探測器接收并轉(zhuǎn)化為圖像。
加速電壓的作用包括:
影響電子束的能量和速度:加速電壓越高,電子束的能量和速度越大,電子束穿透樣品的深度也越深,從而影響圖像的分辨率和對樣品的破壞程度。
影響圖像的對比度:加速電壓對圖像的對比度有很大的影響。在低加速電壓下,電子束與樣品表面相互作用時,產(chǎn)生的二次電子信號相對強烈,從而提高圖像的對比度。
影響EDS分析結(jié)果:在EDS分析中,加速電壓對激發(fā)X射線的能量和強度有很大的影響,因此須根據(jù)樣品的性質(zhì)和所需的分析結(jié)果來選擇合適的加速電壓。
因此,選擇合適的加速電壓是SEM中非常重要的一個參數(shù),需要根據(jù)樣品的性質(zhì)和所需的分析結(jié)果來確定。
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作者:澤攸科技
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