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掃描電鏡制樣冷臺(tái)法操作步驟

日期:2023-04-25

掃描電鏡(SEM)制樣的冷臺(tái)法是一種常用于金屬和導(dǎo)電樣品的制樣方法,通常涉及使用液氮或液氦冷卻樣品,以減少電子束輻照引起的熱損傷。以下是一般的掃描電鏡制樣冷臺(tái)法的步驟:

準(zhǔn)備樣品:選擇合適的金屬或?qū)щ姌悠罚⑦M(jìn)行必要的前處理,如清洗、去污等,以確保樣品表面干凈。

固定樣品:將樣品固定在SEM樣品支架上,可以使用導(dǎo)電膠水或?qū)щ娔z帶等固定方法,確保樣品與樣品支架之間的良好接觸。

冷卻樣品:將樣品支架放置在液氮或液氦冷卻的樣品冷臺(tái)上,以降低樣品溫度,通??梢越档偷?150°C以下。

制備樣品表面:在樣品表面形成一個(gè)平坦、光滑的表面,通??梢酝ㄟ^離子束拋光(Ion Beam Polishing,IBP)或其他類似的方法進(jìn)行。這一步驟有助于減少SEM圖像中的表面充電和偽影,并提高圖像的質(zhì)量。

導(dǎo)電涂覆:如果樣品表面不足夠?qū)щ姡梢栽跇悠繁砻嫱扛惨粚訉?dǎo)電薄膜,如金屬蒸發(fā)、濺射、噴涂等方法,以提高SEM圖像的對比度和清晰度。

移除冷臺(tái):在制備完樣品后,可以將樣品支架從冷臺(tái)上取下,但需要注意避免樣品迅速回溫,以避免可能引起的熱損傷。

轉(zhuǎn)移到SEM:將制備好的樣品支架安裝到SEM中,并進(jìn)行合適的參數(shù)設(shè)置,如加速電壓、探針電流、檢測器設(shè)置等。

SEM觀察:使用SEM對樣品進(jìn)行觀察和圖像獲取。由于樣品在冷臺(tái)法制樣過程中處于低溫狀態(tài),可以減少電子束輻照引起的熱效應(yīng),從而獲得更清晰、高對比度的SEM圖像。

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

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作者:澤攸科技


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