掃描電鏡（Scanning Electron Microscope, SEM）的信號(hào)采集類(lèi)型通常包括以下幾種：

二次電子（SE）信號(hào)：這是SEM中常用的信號(hào)類(lèi)型。當(dāng)電子束掃描到樣品表面時(shí)，樣品表面的物質(zhì)會(huì)發(fā)射出二次電子，這些電子經(jīng)由檢測(cè)器采集并轉(zhuǎn)換成圖像，用于觀察樣品的形貌和表面特征。

反射電子（BE）信號(hào)：當(dāng)電子束掃描到樣品表面時(shí)，部分電子會(huì)被樣品表面的物質(zhì)反射回來(lái)，形成反射電子信號(hào)。反射電子信號(hào)主要用于觀察樣品的組成和晶體結(jié)構(gòu)。

散射電子（BSE）信號(hào)：當(dāng)電子束與樣品相互作用時(shí)，一部分電子會(huì)被樣品內(nèi)部物質(zhì)散射出來(lái)，形成散射電子信號(hào)。散射電子信號(hào)主要用于觀察樣品的組成和晶體結(jié)構(gòu)，具有較強(qiáng)的深度信息。

透射電子（TE）信號(hào)：在一些特定的SEM配置中，可以通過(guò)加入透射電子探測(cè)器，采集樣品內(nèi)部的透射電子信號(hào)，從而獲得樣品的透射電子顯微圖像，用于觀察樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和組成。

需要注意的是，不同類(lèi)型的信號(hào)在SEM中的采集方式和檢測(cè)器配置可能會(huì)有所不同，具體的信號(hào)采集方式和檢測(cè)器配置會(huì)根據(jù)SEM設(shè)備的型號(hào)、廠商以及研究目的而有所差異。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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