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臺式掃描電鏡怎么對焦

日期:2023-05-05

臺式掃描電鏡的對焦一般分為粗調(diào)和細調(diào)兩個階段。以下是對這兩個階段的具體介紹:

粗調(diào)對焦

粗調(diào)對焦主要是將樣品表面調(diào)至顯微鏡的初級對焦位置,以便進行后續(xù)的細調(diào)對焦。一般來說,進行粗調(diào)對焦時需要先將電子槍調(diào)至合適的位置,使其可以照射到樣品表面;然后調(diào)整樣品臺位置,將樣品表面與電子束聚焦面基本平行,這時樣品表面就可以看到清晰的影像,接下來可以通過微調(diào)樣品臺高度和位置,使影像進一步清晰和穩(wěn)定。

細調(diào)對焦

細調(diào)對焦主要是在初級對焦的基礎上進行的,目的是使影像更加清晰、銳利,甚至可以達到納米級的分辨率。具體的操作方法有很多種,常見的包括:

調(diào)整聚焦補償:在粗調(diào)對焦的基礎上,通過調(diào)整聚焦補償,使影像更加清晰、銳利。

調(diào)整倍率:在粗調(diào)對焦的基礎上,通過調(diào)整電子透鏡的倍率,使影像更加清晰、銳利。

調(diào)整工作距離:在粗調(diào)對焦的基礎上,通過調(diào)整樣品和探針之間的工作距離,使影像更加清晰、銳利。

調(diào)整對比度和亮度:在粗調(diào)對焦的基礎上,通過調(diào)整對比度和亮度,使影像更加清晰、銳利。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

總之,細調(diào)對焦是一個非常復雜、技術含量較高的過程,需要根據(jù)具體的實驗條件和要求進行細致的調(diào)整和優(yōu)化。

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作者:澤攸科技


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