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臺(tái)式掃描電鏡常見制備導(dǎo)電涂膜方法

日期:2023-06-14

在臺(tái)式掃描電鏡(SEM)中,導(dǎo)電涂膜常用于提高非導(dǎo)電樣品的導(dǎo)電性,以便在SEM觀察時(shí)獲得清晰的圖像。導(dǎo)電涂膜可以增加樣品的表面導(dǎo)電性,使電子束能夠在樣品表面上流動(dòng)并生成信號(hào)。

常見的導(dǎo)電涂膜材料包括金屬(如金、鉑、銀)、碳以及合金。以下是一種常見的方法來制備導(dǎo)電涂膜:

準(zhǔn)備樣品:首先,準(zhǔn)備您要涂覆的樣品。確保樣品表面干凈,并去除表面污染物和油脂。

清潔樣品:在開始涂覆之前,您可以使用溶劑(如酒精或丙酮)進(jìn)行樣品的清潔,以去除表面的雜質(zhì)和污染物。

涂覆導(dǎo)電涂膜:選擇適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電涂膜材料,并使用合適的方法將其涂覆到樣品表面上。以下是一種常見的方法:

a. 真空蒸發(fā)法:這是一種常用的涂覆導(dǎo)電涂膜的方法。將導(dǎo)電材料(如金屬)放置在真空蒸發(fā)設(shè)備中,加熱至其熔點(diǎn),使其蒸發(fā)并沉積在樣品表面上。

b. 濺射法:這種方法通過將導(dǎo)電材料(如碳或金屬)放置在濺射裝置中,并在真空環(huán)境下施加高能粒子(如離子或電子束)來濺射材料,使其沉積在樣品表面上。

c. 涂覆法:可以使用導(dǎo)電性噴霧或者刷涂法來涂覆導(dǎo)電涂膜。將涂覆溶液或懸浮液均勻地涂布在樣品表面上,然后等待干燥。

涂覆厚度控制:涂覆導(dǎo)電涂膜時(shí),可以通過控制材料的沉積時(shí)間、蒸發(fā)速率或者濺射參數(shù)來控制涂層的厚度。通常,涂層的厚度應(yīng)保持在幾納米至幾十納米的范圍內(nèi),以獲得適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電性。

檢查和修整:涂覆完成后,檢查涂層的質(zhì)量和均勻性。如有必要,可以使用顯微鏡或SEM來觀察涂層,并進(jìn)行必要的修整。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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