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影響臺式掃描電鏡探針電流的大小的因素

日期:2023-06-14

在臺式掃描電鏡(SEM)中,探針電流是指掃描電鏡電子束與樣品表面相互作用產(chǎn)生的電流量。探針電流是SEM中一項重要的參數(shù),可以提供關(guān)于樣品性質(zhì)和電子束與樣品交互作用的信息。

探針電流的大小可以受到以下因素的影響:

電子束電流:電子束電流是SEM中調(diào)節(jié)的一個重要參數(shù)。增加電子束電流會導致探針電流變大。

加速電壓:加速電壓是指電子束在SEM中的能量。較高的加速電壓通常會導致更大的探針電流。

樣品性質(zhì):樣品的導電性和形貌會影響探針電流。導電性較高的樣品會產(chǎn)生較大的探針電流,而非導電性樣品的探針電流較小。樣品表面的形貌和紋理也會對探針電流產(chǎn)生影響。

探針與樣品之間的距離:探針電流還與電子束與樣品之間的距離有關(guān)。在SEM中,通過調(diào)整工作距離(Working Distance)來控制探針與樣品的距離。

通常情況下,較高的探針電流可以提供更高的信號強度和更好的圖像質(zhì)量,但同時也可能導致樣品的熱損傷或退火效應。因此,在選擇探針電流時需要平衡信號質(zhì)量和樣品的熱影響。

具體的探針電流設(shè)置應根據(jù)樣品的性質(zhì)、SEM儀器的要求和實際需求進行優(yōu)化。一般來說,您可以根據(jù)樣品的導電性和SEM儀器的建議范圍,逐漸增加探針電流,觀察圖像質(zhì)量和樣品狀況,并找到適合您實驗需求的探針電流值。

ZEM18臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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