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掃描電鏡如何進(jìn)行元素組成和化學(xué)分析?

日期:2023-06-20

掃描電鏡(SEM)是一種常用于觀察材料表面形貌和進(jìn)行元素組成分析的儀器。它通過使用電子束與樣品表面相互作用,并測量產(chǎn)生的信號來獲取有關(guān)樣品的信息。

下面是使用掃描電鏡進(jìn)行元素組成和化學(xué)分析的一般步驟:

準(zhǔn)備樣品:將要分析的樣品制備成合適的形狀和大小,并確保表面平整、干凈,以便獲得準(zhǔn)確的結(jié)果。

金屬涂層:某些樣品在進(jìn)行分析之前需要進(jìn)行金屬涂層,例如薄層的金或碳涂層。這樣做是為了提高樣品的導(dǎo)電性,以便電子束能夠順利地與樣品進(jìn)行相互作用,并產(chǎn)生可觀測的信號。

調(diào)整儀器參數(shù):根據(jù)樣品的性質(zhì)和所需的分析目的,選擇合適的電子束能量、掃描模式、探針電流等儀器參數(shù)。這些參數(shù)的選擇會對元素分析結(jié)果產(chǎn)生影響。

掃描樣品:將樣品放置在掃描電鏡的樣品臺上,調(diào)整位置和焦距,確保樣品表面位于正確的位置。然后通過電子束對樣品表面進(jìn)行掃描,這將激發(fā)樣品中的電子和光子等不同類型的信號。

檢測信號:掃描過程中,由樣品表面產(chǎn)生的不同類型的信號被收集和檢測。常用的信號是次級電子和后向散射電子。

圖像獲?。航邮蘸吞幚頇z測到的信號,生成樣品表面的圖像。通過控制電子束的掃描方式,可以獲取高分辨率的樣品表面形貌圖像。

能譜分析:在掃描電鏡中,還可以使用能譜儀來進(jìn)行元素組成的分析。能譜儀收集由樣品表面產(chǎn)生的散射電子或X射線,通過分析它們的能量來確定元素的存在和相對豐度。常用的能譜分析方法包括能量色散X射線能譜(EDS)和熒光X射線能譜(XRF)。

元素定性和定量分析:通過比較樣品的能譜或熒光譜與已知標(biāo)準(zhǔn)的譜圖進(jìn)行比對,可以確定元素的存在和相對豐度。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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作者:澤攸科技


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