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掃描電鏡中的探針和探頭是什么?

日期:2023-06-20

在掃描電鏡(SEM)中,探針和探頭是兩個不同的概念,它們用于描述電子束與樣品之間的相互作用。

探針(Probe):探針通常指的是電子束在樣品表面聚焦形成的非常細小的電子束。這個電子束用于掃描樣品表面并與樣品相互作用。探針的直徑可以調整,通??梢赃_到幾納米到數(shù)十納米的量級,具體取決于儀器的設置和需求。探針的聚焦和定位對于獲得高分辨率的圖像和準確的分析結果非常重要。

探頭(Detector):探頭是用于檢測樣品表面反射或散射的信號的裝置。在掃描電鏡中,有多種類型的探頭用于接收不同類型的信號。常見的探頭包括次級電子探頭(Secondary Electron Detector)和后向散射電子探頭(Backscattered Electron Detector)。次級電子探頭用于檢測樣品表面產生的次級電子信號,這些電子是由電子束與樣品表面的原子和分子相互作用產生的。后向散射電子探頭用于檢測由電子束與樣品表面相互作用后,被散射回到探頭的電子信號。這些探頭接收到的信號經過處理和放大后,可以形成樣品表面的圖像。

需要注意的是,探針和探頭是兩個不同的概念,探針是指電子束,而探頭是指用于檢測信號的裝置。

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作者:澤攸科技


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