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掃描電鏡中的電子束對樣品會造成什么影響?

日期:2023-06-21

掃描電子顯微鏡(SEM)中的電子束對樣品會產(chǎn)生多種影響,包括以下幾個方面:

電子束散射:電子束與樣品中的原子和分子相互作用時,會發(fā)生散射現(xiàn)象。這種散射會導(dǎo)致電子在樣品中的方向改變,并散布到不同的角度和位置上。散射電子通過探測器收集后,可以用于獲取樣品的反射電子圖像和散射電子圖像。

能量轉(zhuǎn)移:電子束與樣品發(fā)生相互作用時,會將能量傳遞給樣品。這種能量轉(zhuǎn)移可能導(dǎo)致樣品加熱,尤其是在高電子束密度或長時間照射下。樣品加熱可能導(dǎo)致材料的結(jié)構(gòu)變化、相變或熱解等效應(yīng)。

輻照損傷:高能電子束與樣品相互作用時,可能會引起輻照損傷。這包括樣品中的電子束誘導(dǎo)位移、空位形成和晶格缺陷等。輻照損傷可能導(dǎo)致樣品性質(zhì)的變化,例如晶格畸變、晶體缺陷的增加以及材料性能的退化。

電子激發(fā):電子束的能量可以激發(fā)樣品中的電子。這可能導(dǎo)致電子從基態(tài)躍遷到激發(fā)態(tài),從而引起樣品的熒光發(fā)射。利用樣品熒光發(fā)射的特征,可以進行元素分析和成分表征。   

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作者:澤攸科技


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