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掃描電鏡的高真空和低真空模式有什么不同?

日期:2023-06-21

掃描電子顯微鏡(SEM)通常提供兩種操作模式:高真空模式和低真空模式。這兩種模式有以下不同之處:

真空條件:在高真空模式下,SEM工作在高度真空的環(huán)境中,通常在10^-3至10^-7帕的范圍內(nèi)。而低真空模式下,SEM可以在較低的真空水平中操作,通常在10至130帕之間。

樣品制備:在高真空模式下,樣品須具備一定的導(dǎo)電性,以避免電子束的散射和積累電荷。因此,在高真空模式下,通常需要對非導(dǎo)電樣品進(jìn)行金屬涂覆或者利用碳納米管等導(dǎo)電涂層處理。而在低真空模式下,可以直接觀察非導(dǎo)電樣品,因?yàn)檩^高的氣壓有助于抑制電荷的積累。

分辨率和對比度:由于低真空模式下的氣體存在,電子與氣體分子之間發(fā)生碰撞,會(huì)導(dǎo)致電子束的散射。因此,低真空模式下的SEM相對于高真空模式下的SEM具有較低的分辨率和對比度。在低真空模式下,由于散射的存在,圖像可能會(huì)出現(xiàn)一些模糊或者失真的情況。

樣品適用性:低真空模式對于不具備導(dǎo)電性的樣品具有更廣泛的適用性。由于低真空環(huán)境下,電荷積累的問題較小,因此可以觀察更多種類的樣品,包括生物樣品、聚合物、纖維素材料等。

氣體環(huán)境:低真空模式可以通過在SEM內(nèi)部引入一些氣體,如水汽、氮?dú)獾?,來控制氣氛環(huán)境。這對于一些需要在特定氣氛中觀察樣品的應(yīng)用非常有用,例如對氧敏感的樣品進(jìn)行觀察。

綜上所述,高真空模式和低真空模式在真空條件、樣品制備、分辨率和對比度、樣品適用性以及氣體環(huán)境等方面存在差異。根據(jù)具體的觀察需求和樣品特性,選擇適合的模式進(jìn)行操作。   

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

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作者:澤攸科技


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