掃描電子顯微鏡（SEM）中的電子束是通過以下步驟生成和控制的：

電子源： SEM的核心部件之一是電子源，通常使用熱陰極或場發(fā)射電子槍。熱陰極通過加熱材料（通常是鎢絲）來發(fā)射電子，而場發(fā)射電子槍則通過應(yīng)用高電場使電子從頭部發(fā)射。這些電子源會(huì)釋放能量較低的電子，然后將它們聚焦成束。

電子束聚焦： 一旦電子被釋放，它們經(jīng)過一系列的電磁透鏡來聚焦成細(xì)束。聚焦是SEM中至關(guān)重要的一步，它決定了圖像的分辨率和清晰度。主要的透鏡包括電子透鏡、凸透鏡和阿貝透鏡。

電子束探針： 電子束進(jìn)一步聚焦后，成為一個(gè)電子束探針。這個(gè)探針可以探測(cè)樣品表面的物理性質(zhì)，例如電子反射和散射。

電子束掃描： 電子束可以通過透鏡和掃描線圈進(jìn)行水平和垂直方向的準(zhǔn)確移動(dòng)，從而掃描整個(gè)樣品表面。這種掃描方式是SEM圖像生成的基礎(chǔ)，它使得SEM能夠獲得樣品的表面拓?fù)浜托蚊残畔ⅰ?/span>

信號(hào)檢測(cè)和圖像生成： 當(dāng)電子束與樣品表面相互作用時(shí)，它們會(huì)引發(fā)多種信號(hào)，包括二次電子、反射電子、散射電子等。這些信號(hào)被探測(cè)器捕獲并轉(zhuǎn)換成電子圖像。不同的探測(cè)器用于不同類型的信號(hào)，例如二次電子探測(cè)器用于表面拓?fù)涑上瘛?/span>

電子束控制： SEM允許用戶控制電子束的參數(shù)，例如電子束能量、電流、聚焦、對(duì)準(zhǔn)等。這些參數(shù)可以根據(jù)不同樣品和實(shí)驗(yàn)要求進(jìn)行調(diào)整。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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