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掃描電子顯微鏡是否能夠成像非導(dǎo)電樣品?

日期:2023-12-06

掃描電鏡(SEM)通常可以成像非導(dǎo)電樣品。相較于傳統(tǒng)的透射電子顯微鏡,SEM對于樣品的導(dǎo)電性要求較低。

在SEM中,樣品通常需要涂覆一層薄的導(dǎo)電性金屬膜(例如金屬薄膜),以提高樣品表面的導(dǎo)電性。這是因為SEM工作時需要通過樣品表面的電子散射來形成圖像,而導(dǎo)電性有助于避免電荷積累和電荷漂移,確保圖像的清晰度。

然而,對于一些本身具有一定導(dǎo)電性的樣品或者無法進行金屬薄膜涂覆的樣品,也可以通過調(diào)整SEM的工作條件來進行成像。例如,可以使用低電子束能量和適當(dāng)?shù)奶綔y器配置,以減小對非導(dǎo)電樣品的表面電荷影響,從而實現(xiàn)對非導(dǎo)電樣品的成像。

一些掃描電鏡設(shè)備還配備了特殊的探測器和樣品臺,以增強對非導(dǎo)電樣品的成像能力。這些技術(shù)的發(fā)展使得SEM在成像各種類型的樣品時更加靈活和可行。

ZEM18臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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