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掃描電鏡在非導(dǎo)電樣品觀察中的處理方法有哪些

日期:2023-12-08

在掃描電子顯微鏡(SEM)中,非導(dǎo)電樣品通常會導(dǎo)致電荷堆積和圖像模糊,因為電子束與樣品相互作用導(dǎo)致電子的發(fā)射和堆積。為了在SEM中有效地觀察非導(dǎo)電樣品,有一些處理方法:

導(dǎo)電涂層:

一種常見的方法是在非導(dǎo)電樣品表面涂覆一層導(dǎo)電性材料,如金屬(例如金、鉑)或碳。這樣可以形成一個導(dǎo)電層,有助于消除電荷堆積,并提高電子信號的導(dǎo)電性能。這種導(dǎo)電涂層的方法稱為金屬涂層或碳涂層。

金屬涂層(Sputter Coating):

利用濺射鍍金屬的方法,將金屬顆粒沉積在樣品表面,形成導(dǎo)電層。這一過程通常稱為金屬涂層或濺射鍍金屬。

碳涂層(Carbon Coating):

使用碳的蒸發(fā)或噴霧沉積的方法,將薄層的碳涂覆在樣品表面。這種方法稱為碳涂層。

金屬導(dǎo)電粘貼劑:

在樣品表面使用導(dǎo)電性粘貼劑,如導(dǎo)電膠,以提高電導(dǎo)性。

減小電子束能量:

減小電子束的能量,以減小與樣品相互作用導(dǎo)致的電荷堆積。這可能會降低分辨率,但有助于避免過多的電子散射。

低真空模式:

在低真空模式下進(jìn)行觀察,減小氣體分子與電子的碰撞,有助于減小電荷堆積的影響。

樣品冷凍:

冷凍樣品可以減緩電子與樣品相互作用,減小電荷堆積的影響。這種方法通常在冷凍樣品觀察中使用。

樣品預(yù)處理:

對樣品進(jìn)行預(yù)處理,如濺射清潔、等離子體清洗等,可以改善樣品的導(dǎo)電性能。

在選擇處理方法時,需要考慮樣品的性質(zhì)、觀察的目的以及所需的分辨率等因素。不同的樣品可能需要不同的處理方法,而一些方法可能更適用于特定類型的非導(dǎo)電樣品。

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作者:澤攸科技


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