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如何在掃描電鏡中避免或減少樣品在成像過(guò)程中的偽影

日期:2023-12-08

在掃描電子顯微鏡(SEM)成像過(guò)程中,樣品可能出現(xiàn)偽影,這可能是由于電子束與樣品相互作用引起的。以下是一些減少或避免偽影的方法:

導(dǎo)電涂層:

對(duì)非導(dǎo)電樣品進(jìn)行金屬或碳的導(dǎo)電涂層,以提高樣品的導(dǎo)電性,減少電荷積累和偽影的發(fā)生。

低電子束能量:

減小電子束的能量,可以減少電子與樣品相互作用,減少電子的穿透深度,從而降低偽影的發(fā)生。

防靜電設(shè)備:

使用防靜電設(shè)備,如防靜電籠、靜電消除器等,以減小樣品表面的電荷積累。

樣品傾斜:

將樣品傾斜一定角度,以改變電子束入射角度,減少電子的反射和散射,有助于減少偽影。

低真空模式:

在低真空或中真空模式下進(jìn)行觀察,減小氣體與電子的碰撞,降低電荷的堆積和偽影的產(chǎn)生。

適當(dāng)?shù)慕裹c(diǎn)和亮度設(shè)置:

確保SEM的焦點(diǎn)和亮度設(shè)置適當(dāng),過(guò)高或過(guò)低的設(shè)置可能導(dǎo)致偽影。優(yōu)化這些參數(shù)有助于獲得清晰的圖像。

使用透射電子顯微鏡(TEM):

對(duì)于一些特定樣品,可以考慮使用透射電子顯微鏡,因?yàn)樵赥EM中,電子通過(guò)樣品而不是被樣品散射,可以減小偽影的發(fā)生。

樣品冷凍:

在觀察過(guò)程中冷凍樣品,可以減緩電子與樣品相互作用,減小電荷堆積和偽影的發(fā)生。

樣品處理和準(zhǔn)備:

注意樣品的處理和準(zhǔn)備過(guò)程,確保樣品表面的平整度和清潔度,以減小電子的反射和散射。

使用透明導(dǎo)電材料:

一些透明導(dǎo)電材料具有導(dǎo)電性且透明的性質(zhì),可以降低電子的反射和散射,減小偽影。

根據(jù)具體的樣品和觀察需求,可以結(jié)合使用上述方法,以盡量減少或避免在SEM成像中出現(xiàn)的偽影。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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