掃描電鏡如何進行表面形貌分析?
日期:2023-12-15
掃描電鏡是一種常用于表面形貌分析的先進顯微技術。以下是進行表面形貌分析的一般步驟:
樣品制備:
樣品通常需要被金屬噴鍍(或其他導電性涂層),以增強其導電性,以便在SEM中觀察。
樣品的大小通常在毫米到厘米的范圍內(nèi),并且需要被切割或磨削到適當?shù)某叽纭?/span>
導電涂層:
對于非導電性樣品,需要在樣品表面涂覆一層導電涂層,通常是金屬(如金或鉑)薄層。這可以通過真空蒸鍍或濺射等方法實現(xiàn)。
樣品安裝:
將樣品安裝在SEM樣品臺上,確保它穩(wěn)固且導電性良好。
真空抽?。?/span>
在進行觀察之前,需要將SEM室內(nèi)的空氣抽取,創(chuàng)建真空環(huán)境,以避免電子束與空氣分子相互作用。
參數(shù)設置:
設置SEM的工作參數(shù),包括加速電壓、電流、放大倍數(shù)等。這些參數(shù)的選擇取決于具體的樣品和所需的分辨率。
對焦和調(diào)整:
使用SEM的對焦和調(diào)整功能,確保獲得清晰的圖像。
圖像獲?。?/span>
使用電子束掃描樣品表面,通過探測所產(chǎn)生的信號生成圖像。通常,這些信號包括二次電子圖像(SEI)和反射電子圖像(BEI)等。
分析和測量:
利用SEM軟件進行圖像分析和測量,包括顆粒大小、表面形貌等參數(shù)。
結(jié)果解釋:
根據(jù)SEM圖像和分析結(jié)果,解釋樣品的表面形貌特征,提取有關樣品性質(zhì)的信息。
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作者:澤攸科技