掃描電鏡如何實(shí)現(xiàn)對(duì)表面形貌的高分辨率成像
日期:2024-01-30
掃描電鏡(SEM)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)表面形貌的高分辨率成像,主要是通過(guò)以下原理和步驟:
電子束照射: SEM使用高能電子束照射樣品表面。這些電子束通常具有幾千至幾十萬(wàn)電子伏特的能量。
反射和散射: 當(dāng)電子束照射到樣品表面時(shí),樣品中的原子會(huì)發(fā)生反射、散射和吸收。其中,二次電子(Secondary Electrons,SE)是非常重要的信號(hào),用于生成表面形貌圖像。
二次電子檢測(cè): 掃描電鏡裝置中包含檢測(cè)器,用于探測(cè)樣品表面反射的二次電子。這些二次電子的產(chǎn)生與樣品表面的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)直接相關(guān)。
掃描成像: SEM使用電磁透鏡系統(tǒng)和電子束掃描系統(tǒng),能夠在樣品表面上進(jìn)行高分辨率的掃描。通過(guò)在樣品表面上掃描電子束并測(cè)量二次電子的信號(hào),可以構(gòu)建出高分辨率的表面形貌圖像。
信號(hào)處理和圖像重建: 通過(guò)對(duì)從樣品表面反射的二次電子信號(hào)進(jìn)行處理,可以生成圖像。信號(hào)處理包括增強(qiáng)對(duì)比度、去除噪音等步驟。電子束的掃描軌跡和二次電子信號(hào)的采集與樣品的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)直接相關(guān),因此獲得的圖像具有高分辨率和表面拓?fù)湫畔ⅰ?/span>
低真空模式: 有時(shí)候,在低真空模式下工作可以增強(qiáng)對(duì)非導(dǎo)電樣品的成像效果。在低真空條件下,電子束與氣體分子相互作用,有助于減小充電效應(yīng),提高對(duì)絕緣體的成像效果。
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作者:澤攸科技