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掃描電鏡如何對焦

日期:2024-03-20

掃描電鏡(SEM)對焦是調(diào)整掃描電鏡系統(tǒng)以獲得清晰圖像的過程。通常,SEM系統(tǒng)具有自動對焦功能,但也可以手動對焦。以下是手動對焦的一般步驟:

選擇合適的工作距離:首先,選擇合適的工作距離,這取決于所觀察樣品的性質(zhì)和表面特征。通常情況下,距離較近可以提供更高的放大倍數(shù),但會降低深度焦點范圍。

調(diào)整工作距離:使用控制系統(tǒng)中的調(diào)焦手輪或按鈕,逐步調(diào)整工作距離,直到觀察到樣品表面的清晰圖像。在調(diào)焦過程中,圖像會逐漸變得清晰,一直調(diào)整直到高的清晰度。

調(diào)整焦平面:有時候,樣品的不同部分可能位于不同的焦平面上。如果需要觀察樣品的不同區(qū)域,可能需要微調(diào)焦平面,以確保整個樣品表面都處于清晰的焦點范圍內(nèi)。

檢查調(diào)整:調(diào)焦完成后,建議檢查調(diào)整結(jié)果,確保圖像清晰且所有感興趣的特征都能清晰可見??梢酝ㄟ^改變工作距離和焦平面,進一步優(yōu)化圖像質(zhì)量。

值得注意的是,每次更換樣品或調(diào)整掃描電鏡參數(shù)時,都可能需要重新對焦。對于自動對焦功能,大多數(shù)SEM系統(tǒng)會根據(jù)樣品的特征自動進行對焦,但在某些情況下,手動對焦可能更合適或更準確。

在進行對焦時,需要注意避免使用過高的放大倍數(shù)或調(diào)焦過快,以免損壞樣品或SEM鏡頭。同時,根據(jù)樣品的特性和所需的分辨率,調(diào)整合適的對焦參數(shù)也是很重要的。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡如何對焦。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢15756003283(微信同號)

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作者:澤攸科技


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