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掃描電鏡的分辨率有多高

日期:2024-03-20

掃描電鏡(SEM)的分辨率通常比光學(xué)顯微鏡高得多,能夠?qū)崿F(xiàn)納米級別的分辨率。其分辨率受到多種因素的影響,包括電子束的能量、焦距、探針尺寸等。一般來說,常規(guī)的SEM系統(tǒng)的分辨率在1到10納米之間,而一些先進(jìn)的高分辨率SEM系統(tǒng)甚至可以達(dá)到亞納米級別的分辨率。

以下是影響SEM分辨率的一些關(guān)鍵因素:

電子束能量:電子束的能量會影響其在樣品表面的穿透深度和散射范圍,從而影響圖像的分辨率。一般來說,較高能量的電子束能夠?qū)崿F(xiàn)更高的分辨率。

探針尺寸:探針尺寸指的是掃描電子束的直徑,較小的探針尺寸意味著更高的分辨率?,F(xiàn)代SEM系統(tǒng)通常配備了精細(xì)的探針尺寸調(diào)節(jié)功能,可以實現(xiàn)納米級別的探針尺寸。

樣品表面特性:樣品的表面特性會影響電子束與樣品的相互作用,進(jìn)而影響圖像的清晰度和分辨率。對于不同類型的樣品,可能需要調(diào)整SEM系統(tǒng)的工作參數(shù)以獲得高質(zhì)量的分辨率。

焦距:SEM系統(tǒng)的焦距也會影響分辨率,通常情況下,較長的焦距可以實現(xiàn)更高的分辨率。

探測器性能:SEM系統(tǒng)配備的探測器性能也會影響圖像的分辨率和質(zhì)量。一些先進(jìn)的探測器能夠提供更高的信噪比和更好的圖像細(xì)節(jié)。

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作者:澤攸科技


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