掃描電鏡可以檢測(cè)什么信號(hào)
日期:2024-04-24
掃描電鏡(SEM)主要檢測(cè)的是與樣品表面交互作用后產(chǎn)生的不同信號(hào)。這些信號(hào)包括:
次級(jí)電子(SE)信號(hào):這是SEM中常用的信號(hào)之一。當(dāng)高能電子束照射樣品表面時(shí),部分電子會(huì)被激發(fā)出來(lái),形成次級(jí)電子信號(hào)。這些電子的能量通常較低,對(duì)樣品表面的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)和表面特性具有很高的表面靈敏度。
反射電子(BSE)信號(hào):反射電子是在與樣品原子核的相互作用后被反射回來(lái)的電子。這些電子的能量通常較高,提供了有關(guān)樣品成分和結(jié)構(gòu)的信息。BSE信號(hào)對(duì)于獲取有關(guān)樣品的化學(xué)成分和晶體結(jié)構(gòu)的信息非常有用。
X射線(xiàn)信號(hào):當(dāng)高能電子束與樣品表面相互作用時(shí),會(huì)激發(fā)出X射線(xiàn)。這些X射線(xiàn)的能量與樣品中的原子核的成分有關(guān)。通過(guò)分析這些X射線(xiàn)的能譜,可以確定樣品的化學(xué)成分。
熒光信號(hào):當(dāng)樣品表面受到電子束照射時(shí),可能會(huì)產(chǎn)生熒光,這些熒光信號(hào)可以提供有關(guān)樣品成分和表面特性的信息。
這些信號(hào)的檢測(cè)和分析可以為對(duì)樣品的成分、結(jié)構(gòu)和表面特性提供詳細(xì)的信息,使得SEM成為了材料科學(xué)、生物學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用的強(qiáng)大工具。
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作者:澤攸科技