掃描電鏡（SEM）對真空度要求非常高，這是因?yàn)樵谡婵窄h(huán)境下，可以有效地避免電子束與氣體分子發(fā)生碰撞，從而保持電子束的穩(wěn)定性和樣品的表面清晰度。典型的SEM工作室真空要求在10^-4至10^-7帕范圍內(nèi)，這通常由機(jī)械泵和離子泵等真空系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)。

保持適當(dāng)?shù)恼婵斩葘EM圖像的質(zhì)量和分辨率至關(guān)重要。如果真空度不足，氣體分子將與電子束發(fā)生碰撞，導(dǎo)致散射和吸收，從而降低圖像的對比度和分辨率。此外，氣體分子也可能在樣品表面產(chǎn)生吸附層，影響樣品的表面形貌。

因此，維持良好的真空環(huán)境對于SEM的正常操作和獲得高質(zhì)量的圖像至關(guān)重要。操作者在使用SEM時(shí)通常需要定期檢查和維護(hù)真空系統(tǒng)，以確保其正常運(yùn)行并保持適當(dāng)?shù)恼婵斩取?/span>

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