掃描電鏡（SEM）的工作距離是指電子束從電子槍射出到樣品表面的距離。這個(gè)距離通常是一個(gè)重要的參數(shù)，會影響到成像的分辨率和深度。工作距離的選擇取決于多種因素，包括樣品類型、所需分辨率以及SEM系統(tǒng)的設(shè)計(jì)等。

通常情況下，SEM的工作距離可以在一定范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)節(jié)。較短的工作距離可以提高分辨率，因?yàn)殡娮邮c樣品表面的距離更近，這樣產(chǎn)生的散射和衍射效應(yīng)更小，有助于獲得更清晰的圖像。然而，較短的工作距離也會限制樣品的觀察深度。

相反，較長的工作距離可以提供更大的樣品觀察深度，但可能會犧牲一些分辨率。因此，在選擇工作距離時(shí)，需要根據(jù)具體的應(yīng)用需求權(quán)衡分辨率和深度之間的關(guān)系。

SEM的典型工作距離通常在數(shù)毫米至數(shù)厘米范圍內(nèi)，具體取決于SEM系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和性能參數(shù)。一般來說，可以通過SEM系統(tǒng)的控制軟件或者物理調(diào)節(jié)手段來調(diào)整工作距離。

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