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掃描電鏡樣品不導(dǎo)電怎么處理

日期:2024-05-30

對(duì)于非導(dǎo)電樣品,掃描電子顯微鏡(SEM)分析通常需要進(jìn)行導(dǎo)電處理,以防止在電子束照射下產(chǎn)生電荷積累,導(dǎo)致圖像失真或漂移。以下是幾種常見的處理方法:

1. 金屬涂層法

這是常用的方法,通過在樣品表面涂覆一層薄金屬層,使其導(dǎo)電。

常用金屬

金(Au):提供高導(dǎo)電性和高分辨率圖像。

鉑(Pt):具有良好的導(dǎo)電性和耐氧化性。

鈀(Pd):適用于高分辨率成像。

碳(C):適用于X射線能譜分析(EDS),因其不會(huì)產(chǎn)生干擾峰。

涂覆方法

濺射涂層:利用濺射儀在樣品表面沉積一層薄金屬膜。

蒸鍍法:利用熱蒸發(fā)或電子束蒸發(fā)在樣品表面沉積金屬。

2. 碳涂層法

適用于同時(shí)需要進(jìn)行EDS分析的樣品,因?yàn)樘嫉?span style="font-size: 18px; font-family: Calibri;">X射線干擾較少。

方法

碳蒸鍍:通過碳蒸鍍器在樣品表面涂覆一層薄碳膜。

碳膠涂覆:使用碳膠將樣品固定在導(dǎo)電載物臺(tái)上,并涂覆一層薄碳層。

3. 使用導(dǎo)電膠或?qū)щ妿?/span>

適用于簡(jiǎn)單和快速的樣品處理。

方法

導(dǎo)電銀漿:將樣品固定在載物臺(tái)上,用導(dǎo)電銀漿覆蓋樣品周圍,以確保電接觸。

導(dǎo)電碳膠帶:將樣品固定在導(dǎo)電碳膠帶上,以實(shí)現(xiàn)電接觸。

4. 離子束沉積

利用聚焦離子束(FIB)在樣品表面沉積導(dǎo)電材料,適用于高精度和局部區(qū)域的導(dǎo)電處理。

選擇合適的處理方法

金屬涂層:適用于大多數(shù)需要高分辨率圖像的樣品,但可能影響EDS分析結(jié)果。

碳涂層:適用于需要進(jìn)行EDS分析的樣品。

導(dǎo)電膠帶和導(dǎo)電銀漿:適用于快速和簡(jiǎn)單的處理,但對(duì)高分辨率成像效果較差。

離子束沉積:適用于特定區(qū)域的精細(xì)處理,但設(shè)備和操作成本較高。

操作步驟示例(濺射涂層)

準(zhǔn)備樣品:將樣品固定在SEM樣品臺(tái)上。

放置樣品:將樣品臺(tái)放入濺射儀中。

選擇涂層材料:根據(jù)需要選擇合適的金屬靶材(如金、鉑)。

設(shè)定參數(shù):設(shè)定濺射電流和時(shí)間,以控制涂層厚度(通常為幾納米到幾十納米)。

開始濺射:?jiǎn)?dòng)濺射儀進(jìn)行金屬涂層沉積。

取出樣品:完成涂層后,取出樣品,并進(jìn)行SEM分析。

通過這些方法,非導(dǎo)電樣品可以得到有效的導(dǎo)電處理,從而確保在掃描電鏡中的良好成像效果和準(zhǔn)確分析。

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作者:澤攸科技


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