在掃描電子顯微鏡（SEM）中，焦點(diǎn)合成（Focus Stacking）是一種提高圖像景深的方法，特別適用于觀察樣品具有較大高度差的復(fù)雜表面。通過將多張不同焦點(diǎn)的圖像合成為一張全焦點(diǎn)的圖像，焦點(diǎn)合成技術(shù)可以顯著增加圖像的景深，從而讓整個樣品表面都處于清晰焦點(diǎn)內(nèi)。

焦點(diǎn)合成的實(shí)現(xiàn)步驟

采集多張不同焦點(diǎn)的圖像

調(diào)整焦點(diǎn): 在SEM中，逐步調(diào)整樣品的焦距，從近焦點(diǎn)到遠(yuǎn)焦點(diǎn)，依次拍攝多張圖像。每張圖像應(yīng)該在不同的焦平面上，以涵蓋樣品表面的所有高度范圍。

保持其他參數(shù)不變: 除了焦距以外，其他成像參數(shù)（如加速電壓、探針電流、掃描速度等）應(yīng)該保持不變，以確保圖像的一致性。

圖像疊加

使用專用軟件: 將這些不同焦點(diǎn)的圖像輸入到焦點(diǎn)合成軟件中進(jìn)行處理。常見的圖像處理軟件，如Helicon Focus、Photoshop或?qū)ｉT的SEM控制軟件，通常都具有焦點(diǎn)合成功能。

合成全焦點(diǎn)圖像: 軟件會自動分析每張圖像中的清晰部分，并將這些部分疊加合成一張全焦點(diǎn)的圖像。合成后的圖像將顯示出樣品的全景深細(xì)節(jié)。

后處理

對比度和亮度調(diào)整: 合成后的圖像可能需要適當(dāng)調(diào)整對比度和亮度，以確保圖像的細(xì)節(jié)和特征充分顯現(xiàn)。

去除偽影: 如果在焦點(diǎn)合成過程中出現(xiàn)了偽影或其他不自然的細(xì)節(jié)，可以使用圖像處理工具進(jìn)行修正。

應(yīng)用場景

焦點(diǎn)合成技術(shù)特別適用于以下幾種應(yīng)用場景：

高差較大的樣品: 樣品表面具有顯著的高度差時(shí)（如微結(jié)構(gòu)、顆粒表面、裂紋等），焦點(diǎn)合成能夠幫助觀察樣品的結(jié)構(gòu)。

復(fù)雜表面: 當(dāng)樣品表面復(fù)雜且需要整個表面都處于清晰焦點(diǎn)內(nèi)時(shí)，焦點(diǎn)合成是理想的選擇。

3D表面形貌分析: 焦點(diǎn)合成可以提供樣品的景深圖像，有助于后續(xù)的3D形貌分析。

優(yōu)勢

全景深圖像: 通過焦點(diǎn)合成，用戶可以獲得全景深圖像，清晰顯示樣品的所有細(xì)節(jié)。

減少焦距調(diào)整誤差: 自動焦點(diǎn)合成軟件減少了人為調(diào)整焦距帶來的誤差，確保圖像質(zhì)量一致性。

適應(yīng)復(fù)雜樣品: 適合高度差較大、表面復(fù)雜的樣品，幫助科學(xué)家和工程師更好地分析樣品特征。

注意事項(xiàng)

圖像采集精度: 采集圖像時(shí)，焦距調(diào)整需要準(zhǔn)確，避免焦點(diǎn)范圍過寬或過窄，這樣才能確保合成圖像的質(zhì)量。

樣品穩(wěn)定性: 在采集不同焦點(diǎn)圖像時(shí)，樣品應(yīng)保持穩(wěn)定，避免任何移動，以免影響圖像對齊和合成效果。

偽影處理: 合成后可能會出現(xiàn)由于焦點(diǎn)不一致或圖像疊加不準(zhǔn)引起的偽影，需要進(jìn)行適當(dāng)?shù)膱D像處理。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中使用焦點(diǎn)合成提高景深。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請咨詢15756003283(微信同號)。