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如何判斷掃描電鏡圖像是否失真或充電?

日期:2025-04-23

判斷掃描電鏡(SEM)圖像是否出現(xiàn)失真或充電效應(yīng),主要可以通過觀察圖像特征、了解樣品性質(zhì)和結(jié)合成像參數(shù)來判斷。以下是常見判斷方式:

一、如何判斷圖像失真

失真(Distortion) 是圖像幾何形狀偏離實(shí)際形貌,常見于以下幾種情況:

掃描方向變形:

快速掃描方向出現(xiàn)拉長、壓縮、傾斜等現(xiàn)象,說明掃描速率與反饋響應(yīng)不同步。

橫向拉伸多為慢掃描軸伺服遲緩造成。

圖像邊緣模糊或抖動:

電磁干擾、掃描不穩(wěn)定、樣品運(yùn)動造成;

電源干擾也會引入周期性條紋。

圖像整體偏移或重復(fù)(鬼影):

掃描系統(tǒng)滯后或線圈遲滯;

或者控制器中斷、同步觸發(fā)失效導(dǎo)致圖像有“雙影”。

二、如何判斷圖像充電效應(yīng)

充電效應(yīng)(Charging) 通常發(fā)生在非導(dǎo)電樣品或樣品涂層不良時:

圖像亮度不均勻或忽明忽暗:

表明電子聚集在局部區(qū)域,導(dǎo)致信號電壓漂移。

局部區(qū)域異常發(fā)白或黑暗:

正常區(qū)域電荷排出平衡,而局部充電區(qū)域形成高反差。

圖像“漂移”或“扭曲”隨時間發(fā)生變化:

通常伴隨著掃描過程中圖像位置緩慢變化;

這是典型的表面電荷積累影響電子束偏轉(zhuǎn)。

亮區(qū)邊緣出現(xiàn)“暈影”或強(qiáng)反射:

說明電子束轟擊后產(chǎn)生了次級電子和背散射電子畸變。

三、如何進(jìn)一步驗(yàn)證(診斷方法)

改變加速電壓:如果降低加速電壓后圖像變正常,很可能是充電問題。

導(dǎo)電噴金處理:樣品如果經(jīng)過金屬鍍層后圖像變穩(wěn)定,則說明是導(dǎo)電不足導(dǎo)致的充電。

換方向掃描:如果圖像失真形狀隨掃描方向變化,說明是動態(tài)滯后或畸變。

連續(xù)拍攝多張觀察變化:若圖像漂移隨時間逐漸加重,很可能是表面充電積累。


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作者:澤攸科技


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