PicoFemto透射電鏡原位MEMS加熱/電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)
PicoFemto透射電鏡原位MEMS加熱/電學(xué)測(cè)量系統(tǒng),透射電子顯微鏡是提供在較高時(shí)間分辨率下得到原子級(jí)空間分辨率的實(shí)驗(yàn)手段。價(jià)格請(qǐng)咨詢18817557412(微信同號(hào))
PicoFemto透射電鏡原位MEMS加熱/電學(xué)測(cè)量系統(tǒng),透射電子顯微鏡是提供在較高時(shí)間分辨率下得到原子級(jí)空間分辨率的實(shí)驗(yàn)手段。透射電子顯微鏡原位加熱/電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)是在標(biāo)準(zhǔn)外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)安裝MEMS工藝制成的微加熱芯片和電學(xué)測(cè)量芯片。微加熱芯片可對(duì)樣品進(jìn)行可控溫度的加熱,電學(xué)測(cè)量芯片可對(duì)樣品進(jìn)行電性質(zhì)測(cè)量。并可在進(jìn)行加熱和電學(xué)測(cè)量的同時(shí),動(dòng)態(tài)、高分辨地對(duì)樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征,大大地?cái)U(kuò)展了透射電子顯微鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。
本系統(tǒng)硬件包括兩部分,分別是加熱/電學(xué)測(cè)量控制器、原位MEMS芯片樣品桿。軟件包括自動(dòng)控溫軟件和自動(dòng)電學(xué)測(cè)量軟件。
性能指標(biāo)
透射電子顯微鏡指標(biāo):
● 兼容指定型號(hào)電鏡及極靴;
● 單傾可選高傾角版本;
● 可選雙傾版本,β角傾轉(zhuǎn)±25°(同時(shí)受限于極靴);
● 測(cè)量電極數(shù)可選。
電學(xué)測(cè)量指標(biāo):
● 包含一個(gè)電流電壓測(cè)試單元;
● 電壓輸出Z大±200 V,Z小±100 nV;
● 電流測(cè)量Z大±1.5 A,Z小100 fA;
● 恒壓或者恒流模式;
● 自動(dòng)電流-電壓(I-V)測(cè)量、電流-時(shí)間(I-t)測(cè)量,自動(dòng)保存。
加熱與溫控指標(biāo):
● 溫度控制范圍:室溫到1200 ℃;
● 加熱功率:Z大30 W;
● 控溫穩(wěn)定性:優(yōu)于±0.1 ℃;
● Z大升溫速率:1000 ℃/ms。
部分國(guó)內(nèi)用戶
部分國(guó)外用戶
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