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SEM原位解決方案每一個(gè)設(shè)計(jì)作品都精妙

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澤攸科技SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)在低溫約束局部電鍍3D打印中的應(yīng)用

日期:2024-05-22

金屬微結(jié)構(gòu)在工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用,尤其是在電磁或光學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用。這些應(yīng)用通常需要具有特定電導(dǎo)率、機(jī)械性能和熱導(dǎo)率的金屬結(jié)構(gòu)。增材制造(Additive Manufacturing, AM)技術(shù),也稱為3D打印,通過(guò)逐層沉積的方式,能夠突破傳統(tǒng)制造過(guò)程中的幾何約束,制造出定制化的金屬結(jié)構(gòu)。隨著技術(shù)的發(fā)展,已經(jīng)能夠打印出不同尺度的金屬結(jié)構(gòu),從宏觀尺度的火箭發(fā)動(dòng)機(jī)、整體葉盤,到微觀尺度的光學(xué)微器件和微電子設(shè)備。

盡管宏觀尺度的增材制造技術(shù)已經(jīng)能夠制造出高分辨率的復(fù)雜結(jié)構(gòu),微尺度增材制造仍面臨一些挑戰(zhàn)?,F(xiàn)有的金屬微尺度增材制造技術(shù),如直接墨水寫入(DIW)、電液動(dòng)力打?。‥HD)和聚焦電子/離子束誘導(dǎo)沉積(FEBID/FIBID),雖然能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率的打印,但在制備高強(qiáng)度和高導(dǎo)電性金屬結(jié)構(gòu)方面存在困難。例如,DIW和EHD依賴于金屬納米顆粒,這些顆粒在固化后形成的微結(jié)構(gòu)周圍含有導(dǎo)電性較差的有機(jī)雜質(zhì),導(dǎo)致金屬結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度和導(dǎo)電性降低。而FEBID/FIBID雖然具有高分辨率和低制造復(fù)雜性,但制備出的金屬結(jié)構(gòu)金屬純度低,通常只有10-20原子百分比,這同樣會(huì)降低金屬結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度和導(dǎo)電性。

SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)

針對(duì)以上問(wèn)題,南京航空航天大學(xué)團(tuán)隊(duì)利用澤攸科技SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行打印過(guò)程中的力監(jiān)測(cè)和控制,并結(jié)合CCLE技術(shù),即一種基于冷約束局部電鍍的亞微米尺度3D打印技術(shù),成功制備了亞微米尺寸的高質(zhì)量三維銅結(jié)構(gòu)。相關(guān)研究成果以“Sub-microscale 3D printing based on cold-constrained local electrodeposition”發(fā)表在Virtual and Physical Prototyping期刊上。

Virtual and Physical Prototyping期刊

研究中,打印過(guò)程通過(guò)一個(gè)三電極系統(tǒng)進(jìn)行,使用清潔的金基底作為工作電極,鉑電極和銀/氯化銀電極分別作為對(duì)電極和準(zhǔn)參比電極。打印過(guò)程中,支撐電解液被冷卻,使用三軸納米精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)納米移液管,按照C語(yǔ)言編寫的打印程序進(jìn)行操作。為了優(yōu)化打印過(guò)程,研究人員調(diào)整了電位和壓力等參數(shù),以控制打印結(jié)構(gòu)的形態(tài)。通過(guò)打印柱狀陣列來(lái)進(jìn)行參數(shù)優(yōu)化,研究了不同電位和壓力對(duì)打印質(zhì)量的影響。

原理圖

圖 CCLE打印過(guò)程:(a) CCLE的原理圖;(b) 逐體素打印

研究人員還使用掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)、聚焦離子束(FIB)等工具對(duì)打印出的微結(jié)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)的表征。結(jié)果表明,CCLE技術(shù)能夠打印出具有高度均勻沉積、光滑表面和高強(qiáng)度的亞微米級(jí)結(jié)構(gòu)。此外,通過(guò)原位SEM微壓縮實(shí)驗(yàn),研究人員測(cè)試了打印微柱體的機(jī)械性能。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,打印出的微柱體具有良好的機(jī)械穩(wěn)定性和高強(qiáng)度,特別是在5°C下打印的微柱體展現(xiàn)出更高的應(yīng)力。

電沉積電解液在支撐電解液中的微觀擴(kuò)散過(guò)程

圖 電沉積電解液在支撐電解液中的微觀擴(kuò)散過(guò)程:(a) 打印設(shè)置;(b) 打印池;(c) 納米移液管;(d) 不同溫度下的擴(kuò)散

研究人員還嘗試打印了具有高寬比的螺旋形結(jié)構(gòu)和微柱體,以評(píng)估CCLE技術(shù)在制造復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)方面的能力,可以看出CCLE技術(shù)能夠成功打印出這些具有挑戰(zhàn)性的結(jié)構(gòu)。

掃描電子顯微鏡

圖 在不同條件下打印的螺旋形結(jié)構(gòu)和高寬比微柱體的掃描電子顯微鏡(SEM)圖像

綜上,研究展示了CCLE技術(shù)在亞微米級(jí)金屬微結(jié)構(gòu)打印方面的潛力,并指出了未來(lái)研究的方向。盡管CCLE技術(shù)在表面質(zhì)量、打印精度和金屬結(jié)構(gòu)性能方面顯示出優(yōu)勢(shì),但仍需要進(jìn)一步提高打印速度和制造復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)的能力。未來(lái)的研究將探索通過(guò)進(jìn)一步降低溫度和減小納米移液管的開(kāi)口尺寸來(lái)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)打印的可能性,并對(duì)CCLE技術(shù)的打印過(guò)程和參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,以實(shí)現(xiàn)更大規(guī)模結(jié)構(gòu)的打印。

SEM微壓縮實(shí)驗(yàn)

圖 使用澤攸科技納米力測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行原位SEM微壓縮實(shí)驗(yàn)的結(jié)果

本研究中使用的澤攸科技SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)通常用于高精度的力學(xué)測(cè)試,包括壓縮、拉伸和彎曲等,能夠在微觀尺度上評(píng)估材料的力學(xué)行為,如彈性模量、硬度和塑性變形等特性。這類設(shè)備對(duì)于材料科學(xué)、納米技術(shù)和微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)等領(lǐng)域的研究至關(guān)重要。

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SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)


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作者:澤攸科技


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