超高真空微型光柵尺SMG26
超高真空微型光柵尺SMG26特點,體積小,結(jié)構(gòu)緊湊,適用于超高真空使用,良好的耐高溫性,高可達(dá)100℃,SMG26系列光柵的柵距為256μm,下表為不同細(xì)分倍數(shù)下的允許速度值,精度高,精度3μm(20℃),
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超高真空微型光柵尺SMG26特點,體積小,結(jié)構(gòu)緊湊,適用于超高真空使用,良好的耐高溫性,高可達(dá)100℃,SMG26系列光柵的柵距為256μm,下表為不同細(xì)分倍數(shù)下的允許速度值,精度高,精度±3μm(20℃),采用玻璃柵尺,膨脹系數(shù)小,讀數(shù)穩(wěn)定性良好。分辨率高,配合TF15細(xì)分接頭,讀數(shù)分辨率可達(dá)1nm。安裝容許公差大(容許誤差±0.1mm)。
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