國產(chǎn)全自動臺階儀 JS2000B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量。JS2000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時探針掃描時可實(shí)時觀察掃描區(qū)域。  

特點(diǎn)

量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設(shè)計、售后便捷、極高性價比

應(yīng)用范圍

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

▲ 各式薄膜等應(yīng)力測量

▲ 3D掃描成像

▲ 計劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描

▲ 批量測試晶圓，批量處理數(shù)據(jù)等

系統(tǒng)組成

▲ EFEM（SMIF+ROBOT+ALINGER)

▲ JS200B

選配品

▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣

▲ FFU模塊

▲ 靜電消除模塊

▲ E84接口

技術(shù)參數(shù)

軟件界面

掃描圖

18nm樣品

68um樣品