線性壓電納米位移臺ML-23A
線性壓電納米位移臺ML-23A,大行程直線位移臺,不僅擁有緊湊的安裝尺寸,同時還兼具低溫真空等應(yīng)用環(huán)境,是小空間內(nèi)大行程高精度的定位的優(yōu)先選擇產(chǎn)品。支持定制納米位移臺。
壓電驅(qū)動納米位移臺,使用壓電陶瓷作為運動促動元件,可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)亞納米級別的步長,從而解決了傳統(tǒng)納米臺行程小而微米電動臺分辯精度不高的問題。在科研市場、半導(dǎo)體市場、先進制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學(xué)、通信等行業(yè)有廣泛應(yīng)用。
自主研發(fā)的壓電驅(qū)動納米位移臺,具有運動無需潤滑,真空兼容,可在從液氦溫區(qū)(-269攝氏度)至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點。具有步進和掃描雙工作模式,在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。
線性壓電納米位移臺ML-23A,不僅擁有緊湊的安裝尺寸,同時還兼具低溫真空等應(yīng)用環(huán)境。是小空間內(nèi)大行程高精度的定位的優(yōu)先選擇產(chǎn)品。支持定制納米位移臺。
結(jié)構(gòu)緊湊,高剛性
零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
室溫到液氦工作溫度,真空兼容
壓電陶瓷促進器具有超長使用壽命
帶位移傳感器,提供位置和速度閉環(huán)控制
產(chǎn)品應(yīng)用
電子顯微鏡原位納米探針臺,半導(dǎo)體芯片檢測,光刻機工件臺,微生物操縱手,光纖焊接
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