線性壓電納米位移臺(tái)ML-37A
線性壓電納米位移臺(tái)ML-37A,大行程直線位移臺(tái),不僅擁有緊湊的安裝尺寸,同時(shí)還兼具低溫真空等應(yīng)用環(huán)境,是小空間內(nèi)大行程高精度的定位的優(yōu)先選擇產(chǎn)品。支持定制納米位移臺(tái)。
壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái),使用壓電陶瓷作為運(yùn)動(dòng)促動(dòng)元件,可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別的步長(zhǎng),從而解決了傳統(tǒng)納米臺(tái)行程小而微米電動(dòng)臺(tái)分辯精度不高的問題。在科研市場(chǎng)、半導(dǎo)體市場(chǎng)、先進(jìn)制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學(xué)、通信等行業(yè)有廣泛應(yīng)用。
自主研發(fā)的壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái),具有運(yùn)動(dòng)無需潤(rùn)滑,真空兼容,可在從液氦溫區(qū)(-269攝氏度)至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點(diǎn)。具有步進(jìn)和掃描雙工作模式,在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。
線性壓電納米位移臺(tái)ML-37A,不僅擁有緊湊的安裝尺寸,同時(shí)還兼具低溫真空等應(yīng)用環(huán)境。是小空間內(nèi)大行程高精度的定位的優(yōu)先選擇產(chǎn)品。支持定制納米位移臺(tái)。
結(jié)構(gòu)緊湊,高剛性
零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
室溫到液氦工作溫度,真空兼容
壓電陶瓷促進(jìn)器具有使用壽命長(zhǎng)
帶位移傳感器,提供位置和速度閉環(huán)控制
產(chǎn)品應(yīng)用
電子顯微鏡原位納米探針臺(tái),半導(dǎo)體芯片檢測(cè),光刻機(jī)工件臺(tái),微生物操縱手,光纖焊接
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