長(zhǎng)行程壓電納米位移臺(tái)ML-92A
長(zhǎng)行程壓電納米位移臺(tái)ML-92A,該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),運(yùn)動(dòng)無(wú)需潤(rùn)滑,真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。能夠步進(jìn)和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。支持開環(huán)/閉環(huán)控制。
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