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納米位移臺每一部工程作品都精雕細(xì)琢

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長行程壓電納米位移臺XYMF-133-100A

長行程壓電納米位移臺XYMF-133-100A,具有分辨率高,行程大,帶有高精度及高分辨率的位置反饋,操作簡單,定位準(zhǔn),能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),XYMF-133-100A平移臺可實(shí)現(xiàn)在XY二維空間上的準(zhǔn)確定位,可應(yīng)用于需要納米精度運(yùn)動操作及定位的各個(gè)領(lǐng)域。

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    該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動,運(yùn)動無需潤滑,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動分辨率達(dá)到納米級。能夠步進(jìn)和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。支持開環(huán)/閉環(huán)控制。

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應(yīng)用案例

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    2、半導(dǎo)體芯片檢測

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